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???????????????????? Capacitive???????????????????????????????????????????????????????????????????????????。???????????????????????????????????????,??????????????????????????????????????????????????????。?????????????????????????????????????????????????????,???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。
(1)??????????????????????????? Capacitive ??????????????????????:???????????????????????,?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。??????????????????????????????????????????????????????,但其靈敏度相對較低。
(2)??????????????????????? Capacitive Displacement Transducer:????????????????????????????????????????????????,也可以用于角度位移測量。通過改變板???面積,可以改變電容???值,從而實現對位移???測量。
(3)變介質型???????????????????? Capacitive:???????????????????????????????????????????????,具有良好???線性特性,但輸入/輸出之間存在非線性關系。?????????????????????????????????????,可以改變電容???值,從而實現對位移???測量。
(4)容柵式電容位移?????????:????????????????????????????????????????????????????????????????????????。????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。??????????????????????????????????????????????????????,該?????????具有高分辨率、高精度和較大???測量范圍,???????????????????????????????????????????????????????????????????,????????????????????????????。
????????????,??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????,包括具有變極距型、變極板面積、變介質型和容柵式四種????型。??????????????????????????????????????????????????????????????,可以廣泛應用于各個領域,??????????????????????????????、儀器儀表和機器人技術等。?????????????????????????????????????????????????????,????????????????????????????????????????????????????,?????????????????????????????????????????????????????? ???????。